压力传感器不同敏感材料性能对比
发布时间:
2020-08-19
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压力传感器的应变敏感材料常采用单晶硅、多晶硅或金属多组分材料,如 NiCr 合金等。NiCr 合金敏感材料可以根据传感器的应用环境或要求不同进行组分改进。如要求电阻温度系数非常小,可以添加适当元素以降低高温或低温温度漂移,确保湿度稳定性。
松诺盟公司改性的 NiCr 敏感材料,其电阻温度系数可小于 0.0002% ,使用该敏感材料制造薄膜压力传感器,其 150℃ 高温零点温度系数不作任何补偿,其经检定结果为 .0002%FS/℃,这是其它类型压力传感器无法做到的。单晶硅/多晶硅与 NiCr 敏感材料的性能,德国学者在《汽车压力传感器》一书进行了对比,见表 1 所示。
从表 1 中可以看出,单晶硅/多晶硅与 NiCr 敏感材料相比,具有一定的优越性,尤其是温度依赖性和稳定性方面。瑞士 trafag 公司对不同类型敏感材料制造的压力传感器的稳定性进行了长时间的测试对比,如下图 1 所示。测试结果也证实 NiCr 敏感材料薄膜压力传感器稳定性较好。
表 1 单晶硅/多晶硅与NiCr 合金敏感材料性能对比
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