我国纳米薄膜压力传感器已跻身世界先进行列
发布时间：
2020-08-19
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近年来，松诺盟公司在纳米薄膜压力传感器技术研发及产品生产方面取得了许多突破，薄膜压力传感器整体性能已达到世界先进水平，有些指标达到前沿水平。产品在不做任何补偿情况下，综合精度（含重复性误差、回程误差和线性误差）优于 0.1%FS，零点温度漂移最好可达 0.0007%FS/℃，产品检定结果见图 1 所示。产品工作温度可达 150℃、200℃、250℃ 甚至 380℃。产品长期稳定性不大于 0.1% FS/年，桥臂电阻不小于 5KΩ。
图 1 薄膜压力传感器检定结果
达到以上性能指标，产品采用了多项自主技术:
（1）特殊金属弹性体技术。这种特殊的弹性体材料克服了现有压力传感器常规弹性体的缺点，具有杨氏模量小、耐高温、抗腐蚀、弹性应变大的特点。
（2）极低温度系数新组分合金敏感材料技术、采用特殊组分的 NiCr 金属材料，在 400℃ 高温下可长期稳定工作，日 TCR≤2ppm/℃。
（3）纳米功能薄膜设计与制备技术。采用自行研究的真空纳米薄膜制备系统制备优质的纳米量级功能薄膜、钝化层薄膜、过渡层薄膜以及保护层薄膜，保证压力传感器的综合性能。由于纳米粒子的表面积巨大的活性效应和纳米膜界面的增韧、抗裂纹效应，该种纳米薄膜，致密、附着力大大提高；界面原子结合，提高了疲劳性能，传感器蠕变和滞后极小，改善了传感器的静态特性;膜的散热性好，改善了传感器温度性能;膜针孔少，提高了绝缘性能。使得这种薄膜压力传感器同时具有高精度、高稳定性、高工作温度和耐恶劣环境的优良性能。
通过以上多项关键技术的突破，纳米薄膜压力传感器的整体性能指标得到较大幅度的提高，其整体性能达到世界先进水平。这种高性能的薄膜压力传感器产品，可广泛应用于航空航天、武器装备、石油化工、冶金、机械、电力、核工业、交通等行业或领域。
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