纳米薄膜技术使得压力传感器的稳定性大大提高
发布时间：
2020-08-19
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衡量压力传感器性能指标主要有精确度（综合精度）、温度特性、热影响性能、零点漂移、长期稳定性及其可靠性。长期稳定性是指传感器经过使用一段时间后（仓库存放或在线运行），重新标定时，重现其最初所标定性能的能力。在所标定的性能中，综合精确度内的非线性误差、温度误差、热影响误差等都是可以应用现代电子技术得到修正补偿，使它们产生的误差影响减至最小。然而零点漂移的误差是随机的，而且是不能用电路进行调理的。尽管传感器的精确度等指标很高，但是零点漂移误差往往使得测量变得无效。鉴于在重现性能指标中零点漂移的重要性，所以，稳定性指标经常是以给定时间内、规定的条件下、零点漂移误差限制在规定的范围内，通常用“% FS/年“来表示。
传感器的零点漂移误差可以通过传感器的精心设计，严格的制造工艺，强化稳定性处理以及正确的安装、操作、使用等步骤，把其误差影响减至最小。全属溅射薄膜压力传感器的问世，就是一个例子，它是至今为止世界上公认的真正做到零点漂移误差甚小的压力传感器（例如稳定性 ≤0.01% FS/年）。为什么金属纳米薄膜压力传感器能具有这种优良性能呢？这是因为金属纳米薄膜层间的原子键合减少了如粘贴应变片式（印刷厚膜）层间结构在力传递中，层间的滑动和胶层老化的影响，使传感器没有蠕变引起的滞迟影响。彻底根治了由于温度、有机胶老化等引起的零点漂移所造成不稳定性。金属纳米薄膜压力传感器的优良性能使得从发明它的那天开始，直到今天，其发展方兴未艾。随着纳米薄膜压力传感器的制造成本越来越低，这种传感器优越的性价比将成为陶瓷压力传感器与粘贴应变式压力传感器的替代者。
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