高端传感器制造商
松诺盟，为中国“硬核芯”增添力量
2020-09-11
松诺盟® 科技有限公司是致力于自主知识产权的高性能纳米薄膜压力传感器芯体、纳米薄膜压力传感器、变送器及精密仪器仪表研发、生产和销售的高新技术企业。
公司引进世界先进的生产和检测设备，采用国际先进的生产技术和工艺，经全体员工的共同努力，纳米薄膜压力传感器芯体及高性能压力传感器已经问世，经国防科技工业第一计量测试研究中心检测，整体性能达到世界先进水平，热零点漂移等个别指标（热零点漂移不做任何补偿的情况下不大于 0.001% FS/℃）达到同类产品世界先进水平。纳米薄膜压力传感器芯体和纳米薄膜压力传感器产品如下图 1、2 所示。同时松诺盟公司利用高性能的纳米薄膜压力传感器芯体制造的由壬薄膜压力变送器，整体性能达到世界先进水平，产品如图 3 所示。
图 1 纳米薄膜压力传感器芯体
图 2 纳米薄膜压力传感器
图 3 纳米薄膜由壬压力变送器
纳米薄膜压力传感器芯体（敏感元件）是利用超高真空原子薄膜技术，将绝缘材料、敏感应变电阻材料、焊盘层材料、保护层材料等以原子形式淀积在弹性体不锈钢膜片上，形成原子融合的绝缘薄膜、电阻敏感材料薄膜、焊盘层、保护层等纳米薄膜。再经过精密光刻、调阻等工艺，在弹性体不锈钢膜片上形成牢固而稳定的惠斯顿电桥电路。当被测介质作用于弹性体不锈钢膜片时，其上的惠斯顿电桥产生正比于压力的电信号输出。
以上原子薄膜沉积工艺是纳米薄膜压力传感器芯体优异性能的有力保障。
另外，我们采用特殊组分金属合金敏感材料，在 400℃ 高温下可长期稳定工作，且 TCR≤2ppm/℃。这是纳米薄膜压力传感器芯体优异性能的又一保障，也是松诺盟公司的核心专利技术之一。
纳米薄膜压力传感器芯体的主要特点与技术参数如下：
产品特点
新型敏感材料专利技术，采用国际先进的纳米薄膜工艺及微机械加工技术制成。
不受传统的金属箔式应变计粘贴工艺引入的蠕变、迟滞、老化缺陷的影响，长期稳定性好，工作可靠。
无PN结引入的温度误差大和工作温区小的问题，具有优良的温度特性。
优质不锈钢弹性膜片材料，介质兼容性好，抗腐蚀性能强。无隔离膜片，不用灌油充液。
高稳定性，压力传感器经1000万次压力循环，其漂移量小于0.1%FS／年。
技术参数
测量范围：(0～0.5～10～35～70～100～250)MPa。
工作温度：(-196～+85)℃，(-40～+125)℃，(-40～+150)℃，(-40～+300)℃。
稳定性：≤±0.1%FS(12个月)。
综合精度：±0.075%FS、±0.1%FS、±0.2%FS、±0.3%FS（包括非线性、重复性及迟滞误差）。
零点温度漂移：≤±0.002% FS/℃。
纳米薄膜压力传感器芯体是高性能压力传感器、变送器的核心部件，它同时具有精度高、长期稳定性好、工作温度范围宽、体积小、功耗低、耐恶劣环境等优点，是我国武器装备、冶金、石化、核工业、电力、交通、橡胶、物联网等领域理想的压力测控产品，完全国产，可替代进口产品。
纳米薄膜压力传感器芯体具有完全自主知识产权，它的诞生，为中国“硬核芯”注入了活力，增添了力量，必将为中国新基建领域基础设施信息化、智能化和中国传感器技术发展做出积极贡献。
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